b. 傳熱機理:傳導、對流和輻射;
■熱傳導是通過固體、液體和氣體或兩個緊密接觸的介質(zhì)之間流動的過程;
■對流是兩個表面間由于流速不同而導致的熱能傳輸;
■輻射是通過電磁輻射傳熱的,主要發(fā)生在紅外波段(0.1~100um);溫度為0K以上的所有物體都會發(fā)生熱輻射;溫度輻射體可分為:黑體(灰體和選擇性輻射體)和非黑體;
1)半導體:
a. Si和Ge:硅的導熱率150W/(m?k)、鍺的導熱率77W/(m?k);
b. 化合物半導體:SiGe 150W/(m?k)、SiC 155W/(m?k)、GaAs 45W/(m?k)、InP 97W/(m?k)、GaP 133W/(m?k)、GaSb 33W/(m?k)、 GaN 16~33W/(m?k)、InAs 35W/(m?k)、InSb 19W/(m?k);
a. AuSi共晶焊:共晶溫度為370℃,導熱率為27 W/(m?k);
b. 軟釬焊:AuSn(共晶溫度為280℃導熱率57 W/(m?k) CTE為15.9ppm)、AuGe(共晶溫度為361℃導熱率44 W/(m?k) CTE為13.4ppm)和Sn96(共晶溫度為221℃導熱率33 W/(m?k) CTE為33.2ppm);
c. 摻Ag玻璃:由約60%的片狀Ag粉、20%的玻璃和20%有機粘結(jié)劑(在工藝過程中會完全燒毀)組成,其熱導率約為60~80 W/(m?k),典型工藝溫度為400~420℃;
d. 有機粘接劑:填充有貴金屬的聚酰亞胺、氰酸酯和環(huán)氧樹脂被廣泛用于芯片粘接,Ag是最常用的填充材料,特定應(yīng)用中Au和Cu也可用作填充材料,為提高導熱率可加入例如B3N4、AlN、Al2O3和CVD金剛石作為填充物;另外有機粘接劑可分為熱固性和熱塑性兩種;
a. 氧化鋁(Al2O3):導熱率為12~35 W/(m?k),與純度相關(guān);CTE為6.3ppm(25~400℃);
b. 氧化鈹(BeO):導熱率為248 W/(m?k);CTE為6.4ppm(25~400℃);需要注意的是Be化合物的粉塵會引起慢性Be病(CBD),稱為鈹中毒;
c. 氮化鋁(AlN):導熱率為170W/(m?k);CTE為4.7ppm(25~400℃);一個明顯缺點是在高溫下與水接觸會分解成無定形的氫氧化鋁;
d. 低溫共燒陶瓷(LTCC):是DuPont公司1985年商品化的一項厚膜工藝技術(shù),其熱導率范圍為2.0~4.4 W/(m?k),CTE為4.5~8.0ppm,取決于制造商和生瓷帶的具體成分;LTCC中導熱通孔的使用是提高熱導率的標準方法;
e. 薄膜多層基板:用于制造多芯片模塊(MCM-D),其總熱阻由串聯(lián)的兩個熱阻組成,多層薄膜部分和支撐材料部分,另外設(shè)計者也可以使用導熱通孔陣列提高有效熱導率;
f. 鋼基板:用鋼上介電材料(DOS)對不銹鋼進行絕緣處理,例如Heraeus公司的Cermalloy GPA98-047的熱導率為4.3 W/(m?k);
g. CVD金剛石:合成金剛石或化學氣相淀積CVD金剛石是一種熱導率非常高的材料,其熱導率大于1300 W/(m?k),故既可用作基板也可用作散熱片;
h. 絕緣金屬基板(IMS):既可用作基板也可用作電路卡,它們是單面包覆多層金屬的板,絕緣金屬基板是排列在18in×24in的板上制備的,所以是FR-4印制電路卡的廉價、高導熱率的替代物;其基板一般為Al,也可以是Cu、Cu-Invar-Cu、Cu-Mo-Cu或鋼,并起到熱沉的作用,介電材料為聚合物,厚度在擊穿電壓和熱阻之間權(quán)衡后選擇;
i. 印制電路基板:在MCM-L(層壓板)應(yīng)用中,多層基板是用有機材料(如FR-4和聚酰亞胺)制備的;
a. 非氣密封裝:塑封微電路(PEM)的主要熱通路是通過封裝的底座和引線到達電路卡組件,次要的熱通路是從管芯通過塑料傳到空氣中;
b. 氣密封裝:對于高可靠性和惡劣環(huán)境的用途,使用陶瓷基板或金屬底座的氣密封裝,氣密封裝中的主要熱通路為通過底座的傳導,次要而且很小的一條熱通路是對流
5、決定熱阻的因素:
a. 半導體芯片尺寸:電子系統(tǒng)中的熱量是在半導體結(jié)產(chǎn)生的,結(jié)面積是決定熱阻的一個關(guān)鍵因素,同樣芯片厚度也是決定熱阻的重要因素;
b. 芯片粘接材料及其厚度:粘接材料的熱導率是決定熱阻的最重要因素;
c. 基板材料及其厚度,即基板材料的導熱率和基板的厚度,尤其是基板介電材料的厚度;
d. 基板粘接材料及其厚度;
e. 封裝材料及封裝界面。
微電子封裝熱管理材料
熱設(shè)計
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