功率半導(dǎo)體器件是電力電子系統(tǒng)的主要組成部件。IGBT功率器件的使用壽命可以達(dá)到30年左右,因此在實(shí)際工作條件下測(cè)試IGBT功率器件的可靠性是不現(xiàn)實(shí)的,需要引入加速老化試驗(yàn)。功率循環(huán)試驗(yàn)是用于評(píng)估半導(dǎo)體可靠性的最常見的熱加速測(cè)試之一。由于實(shí)際應(yīng)用中IGBT功率模塊的結(jié)溫波動(dòng)(ΔTj)一般為40 K,在測(cè)試中,ΔTj一般需要達(dá)到70 K以上;采用不同的試驗(yàn)條件,構(gòu)建器件的壽命預(yù)測(cè)模型,可以推斷器件在實(shí)際工況下的壽命。20世紀(jì)90年代,瑞士研究人員發(fā)起了一個(gè)名為L(zhǎng)ESIT的項(xiàng)目,對(duì)大量IGBT模塊進(jìn)行功率循環(huán)測(cè)試,并建立了壽命預(yù)測(cè)模型,包括兩個(gè)最重要的參數(shù):結(jié)溫?cái)[幅(?Tj)和介質(zhì)溫度(Tm)。目前研究來看,可以認(rèn)為ΔTj、Tm、ton和Ic是影響IGBT模塊功率循環(huán)壽命的四個(gè)最重要的測(cè)試條件。因此,在研究某一試驗(yàn)條件對(duì)IGBT模塊的影響時(shí),需要確保其他試驗(yàn)條件保持不變。
在功率循環(huán)試驗(yàn)中,ton、Ic和冷卻條件的不同組合可以在一個(gè)模塊中產(chǎn)生相同的ΔTj和Tm。冷卻條件包括但不限于冷卻劑的類型,溫度和流量以及TIM的類型和厚度。TIM對(duì)從結(jié)到散熱器的總熱阻Rth的貢獻(xiàn)超過50%。當(dāng)功率損耗和ton恒定時(shí),結(jié)溫將隨TIM的Rth而變化。但在電加熱條件(ΔTj、Tm、ton和Ic)不變的情況下,TIM對(duì)整個(gè)測(cè)試的影響未知且不能忽視,同時(shí)相同的IGBT模塊在不同的冷卻條件下是否具有相同的功率循環(huán)壽命值得研究。

合肥工業(yè)大學(xué)王佳寧研究團(tuán)隊(duì),針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)IGBT模塊直流功率循環(huán)試驗(yàn)中冷卻條件(包括但不限于冷卻劑的類型、溫度和流量以及熱界面材料(TIM)的類型和厚度)可能對(duì)整個(gè)試驗(yàn)過程產(chǎn)生影響,采用不同種類和厚度的 TIM 來改變冷卻條件,并用冷卻時(shí)間 toff定量表征。研究了TIM對(duì)IGBT模塊功率循環(huán)壽命的影響,結(jié)果表明,當(dāng)toff變長(zhǎng)時(shí),IGBT模塊的功率循環(huán)壽命將會(huì)提高。為了進(jìn)一步研究IGBT在不同冷卻條件下的失效機(jī)制,進(jìn)行了熱-力學(xué)聯(lián)合仿真。研究成果以“Impact of thermal interface material on power cycling lifetime of IGBT module”為題發(fā)表于《Microelectronics Reliability》期刊。簡(jiǎn)化的熱阻網(wǎng)絡(luò)。

IGBT模塊內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

1:鍵合線,2:芯片,3:焊錫,4:銅,5:DCB,6:基板,7:TIM,8:散熱器。

直流電源循環(huán)測(cè)試臺(tái)。1:熱電偶,2:信號(hào)采集線,3:直流電源,4:DUT,5:散熱器。


實(shí)驗(yàn)測(cè)試條件。


功率循環(huán)測(cè)試期間 DUT 的 Vce 趨勢(shì)。

DUT 1A在功率循環(huán)測(cè)試期間的Vce和Rth(j-h)趨勢(shì)。

IGBT模塊測(cè)試前后的SAM圖(a):Bonding界面;(b):芯片貼裝。

不同 TIM 下 DUTs 的失效周期。

FEM的網(wǎng)格模型。

模型中使用的材料參數(shù)。

模擬和實(shí)驗(yàn)分組相同設(shè)置條件下,相同模擬中不同組的規(guī)格。




(a):鍵合線結(jié)構(gòu)示意圖;(b):第4組鍵合線的等效應(yīng)力(toff =4s);(c):第4組鍵合線的溫度分布 (toff=4s)。


本文采用功率循環(huán)試驗(yàn)和熱-力學(xué)聯(lián)合仿真方法,研究了TIM熱阻對(duì)IGBT模塊功率循環(huán)壽命和失效模式的影響。試驗(yàn)采用單變量控制方法。除TIM熱阻不同外,其他電加熱條件(負(fù)載電流、負(fù)載脈沖持續(xù)時(shí)間、結(jié)溫、結(jié)溫波動(dòng))完全一致。柵極電壓用于調(diào)節(jié)DUT的功率損耗。
可以得出以下結(jié)論:1)TIM熱阻的增加有助于提高功率循環(huán)壽命。主要的失效模式是引線鍵合剝離。2) 由于溫度較高,靠近芯片中心的鍵合線比靠近邊緣的鍵合線更容易損壞。因此,本次測(cè)試中 IGBT 模塊的功率循環(huán)壽命取決于中心鍵合線(4號(hào)和 5號(hào)鍵合線)的壽命。鍵合線的失效點(diǎn)主要是跟部區(qū)域。第一鍵的上升跟部區(qū)域最有可能破裂。3)由于TIM的功率損耗較小,熱阻較高,芯片中心區(qū)域溫度降低,芯片水平溫度梯度減小,使得中心鍵合線上的等效(von Mises)應(yīng)力減小并且壽命得到改善。未來將進(jìn)一步研究其他冷卻條件對(duì)IGBT模塊功率循環(huán)壽命的影響,提出一種考慮冷卻條件壽命的預(yù)測(cè)方法。
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